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PICOSUN
R-200 進階型電漿輔助原子層沉積系統
R-200 Standard 標準型熱化反應式原子層沉積系統
P-300B 12吋晶圓級批量式原子層沉積系統
P-1000 18吋晶圓級批量式原子層沉積系統
